對於潔淨室的塵源,除了來自室外大氣的塵粒和進入潔淨室的人無塵室工作桌和物攜帶的灰塵之外,潔淨室內的發塵源主要來自於潔淨室內操作人員,潔淨室的圍護和潔淨室內生產工藝設備和生產過程的產塵。

  ①潔淨室內作業人員的產塵。作業人員的產塵與所穿的潔淨工作服的材料、型式、著裝情況和作業人員本身的動作有關。因此,潔淨室內的作業人員必須穿規定的工作服而且動作也要受到一定的限制。通常情況下,一般電子裝配工藝穿全身型潔淨工作服輕微動作時,人員的產塵量為3。5-5。0×105個/人•分,是潔淨室內的最主要的發塵源。

  ②潔淨室圍護和室內表面的產塵。隨著潔淨室裝修材料的發展,耐磨、抗靜電、少產塵的材料出現,潔淨室內建築產塵量越來越小。一般認為潔淨室單位建築面積產塵為3-5。0×104/m2•分,可見10平方米建無塵室工作站築產塵只相當一個作業人員的產塵量。

  ③生產設備和生產過程的產塵:這一產塵量與設備和生產過程本身有直接關系。不同設備、不同生產工藝的產塵量差別極大。
 

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